大功率皮秒超快激光器 成功通过科技成果评价
2021-05-10
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20215月10日,依据《中华人民共和国科学技术进步法》《中华人民共和国促进科技成果转化法》《科学技术评价办法》、《科技评估管理暂行办法》,中关村中慧先进制造产业联盟在北京组织召开由苏州贝林激光有限公司自主研发的大功率皮秒超快激光器科技成果评价会。

评价会严格按照《科技成果评价试点暂行办法》的有关规定和要求,坚持客观、公正、独立的原则,聘请中国科学院院士、天津大学教授姚建铨任主任,中国科学院物理研究所研究员魏志义、清华大学教授柳强、北京工业大学教授王璞、北京理工大学教授高春清、中国科学院上海光学精密机械研究所研究员赵全忠、中国企业联合会中国企业家协会常务副理事长于吉6位激光技术专家为成员,组成科技成果评价委员会,对该项科技成果进行了评价。

评价委员会听取了项目完成单位的技术总结报告,对评价资料进行了审查,经严格质询和充分讨论形成了评价意见。经评价,本项目的科技成果大功率皮秒超快激光器,主要采用光纤种子源结合多级行波放大器技术实现高功率皮秒激光脉冲输出,利用倍频、和频技术实现355nm紫外激光输出。

目前形成的Amber NX皮秒激光器已经实现红外100W和紫外50W功率输出,并已完成一定规模的产业化建设。

经过多年的市场推广应用,该产品具有稳定性好、功能兼容性好等优点。2018年12月本成果相关产品Amber NX IR皮秒激光器顺利通过了苏州德龙激光股份有限公司的验收,成功应用于第三代化合物半导体SiC晶圆切割2019年9月本成果相关产品Amber NX IR皮秒激光器顺利通过了苏州天弘激光股份有限公司的验收,应用于蓝宝石衬底LED晶圆切割2019年10月本成果相关产品Amber NX IR皮秒激光器顺利通过了南京萃智激光技术研究院有限公司的验收,成功应用于厚玻璃切割。2019年4月本成果相关产品Amber NX UV皮秒激光器顺利通过了苏州德龙激光股份有限公司的验收,应用于OLED柔性显示模组的切割2019年8月本成果相关产品Amber NX UV皮秒激光器顺利通过了因泰莱激光科技有限公司的验收,用于5G柔性高频电路的切割。

综上所述,该成果产品Amber  NX 大功率皮秒超快激光器可应用于半导体、面板显示、5G高频电路等行业的先进制造。通过自主研发,改变大功率皮秒超快激光器美、欧垄断的市场格局,实现进口,为国家产业升级提供重要的技术支撑。

  评价委员会经讨论认为,该项目的主要创新点和突破的技术难点:

研制了长寿命皮秒光纤激光种子源,通过对可饱和吸收镜换点,实现了种子源大于30000小时的使用寿命;采用多级行波固体放大技术,实现了平均功率89.97W、脉宽小于10ps的近红外激光输出;

研制了三倍频紫外皮秒激光,采用布儒斯特角切割的无镀膜三倍频晶体,得到了平均功率40.66W、输出功率不稳定度±0.8%的紫外输出

研制了皮秒激光器控制系统,包括泵浦源驱动和温控技术、脉冲选单技术、数据记录技术、功率调节和监控技术等;

技术路线合理可行,可支持近红外大于200W、紫外大于80W皮秒激光器的研制。

产品通过国家激光器件质量监督检验中心检测,已形成批量生产,经武汉因泰莱、苏州天弘激光等多家用户使用,反映良好。

产品关键技术具有自主知识产权,技术水平达到国内领先、国际先进,经济、社会效益显著,应用前景广阔。

评价委员会一致同意通过科技成果评价,并建议进一步扩大该技术成果的应用领域,满足市场需求。

苏州贝林激光有限公司成立于2007年4月9日,注册地位于苏州工业园区杏林街98号,由中澳合资创立,致力于研发、生产、销售高端工业级固体激光器。产品主要涵盖三大类:紫外激光器绿光激光器和红外激光器,品质达到国际同类产品水平。 

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